Дифракционные решетки

Дифракционная решетка, появившаяся в конце восемнадцатого – начале девятнадцатого веков, стала одним из самых ценных приборов в истории мировой науки и техники. Она позволяет эффективно разделять (диспергировать) излучение с различной длиной волны и измерять относительную интенсивность света, дифрагированного в порядки спектра. Благодаря этому замечательному свойству стало возможным изучать далекие космические тела, анализировать с максимальным разрешением атомные и молекулярные спектры любого вещества, проводить тонкий рентгеноструктурный анализ, а также измерять линейные и угловые перемещения с высокой точностью. По сути, дифракционная решетка является одним из самых критических элементов для большинства оптических или оптоэлектронных приборов, позволяющего не только повысить эффективность и разрешающую способность, но и сделать их более компактными.

Проблема повышения эффективности и разрешающей способности дифракционных решеток на сегодняшний день является чрезвычайно актуальной задачей во всем мире. Нашим коллективом был разработан более дешевый и современный подход, который позволяет получать, так называемые, дифракционные решетки “с блеском”, т.е. с изначально несимметричным профилем штрихов, обладающих значительно большей относительной эффективностью (вплоть до 100%) и высочайшим разрешением и отношением сигнал-шум. Для ряда диапазонов длин волн эти параметры в разы и, даже, на порядки превышают параметры коммерчески доступных решеток. Разработанный метод основан на использовании жидкостного анизотропного травления кремниевых подложек. Он позволяет получать мастер-решетки с идеальным треугольным профилем штрихов и субатомной шероховатостью практически.

Дифракционные решетки